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6 工位排气台案例

6 工位排气台案例 第一条   设备用途 本设备主要用于 X 光管的生产制备,要求具备超高真空抽气系统真空度高,烘烤温度均匀、热损失小、耗能低、操作维...
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6 工位排气台案例

第一条 设备用途

本设备主要用于 X 光管的生产制备,要求具备超高真空抽气系统真空度高,烘烤温度均匀、热损失小、耗能低、操作维修方便等特点。

第二条 技术参数

本设备的主要技术指标如下:

a . 结构形式: 2 个单腔室 3 工位结构,带立式升降的烘烤箱

b .单个真空腔尺寸: φ160×400(L)mm,排气口间距 130mm。带 1 个 CF150 的闸板主阀, 1 个预抽阀和 1 个放气阀。

c . 极限真空度: 9×10-6 Pa(24 小时),使用一个月以后极限真空 7×10-6 Pa

d .压升率: <0.5Pa/h

e . 烘箱加热功率: ~7kW

f .烘箱加热温度:~600℃

g . 排气台设备整体包 2mm 厚铅

第三条 设备配置及说明

该设备由腔体机架、烘箱加热系统、真空系统(含真空解除充气系统)、水冷系统、气

路系统、电控系统等六部分组成。 (设备主体结构见附件)

腔体机架 真空腔采用内径Φ157mm 壁厚 2mm 的 316L 卫生级无缝管, 内壁镜面抛光, 表面喷砂亚光处理。机架采用碳钢型材焊接,门板采用 304 不锈钢,外包铅,造型美观大方。

烘烤加热系统 采用双层不锈钢内衬保温棉结构, 总功率为 7KW 的电热丝环绕烘箱内

壁,加热均匀,保温效果好。

真空系统 真空系统由机械干泵、分子泵、主阀、前级预抽阀、放气阀和真空管路等 组成。分子泵选用中科科仪FF160/620C分子泵,抽速 700L/s,泵的极限真空度为6×10-8Pa, 前级泵采用鲍斯股份抽速为 8L/s 的无油干泵,主阀采用 CF150 的气动插板阀,前级预抽 阀采用 DN40 气动挡板阀, 预抽采用 DN25 的气动挡板阀,放气阀采用 DN16 气动挡板阀,所有阀门均采用 304 不锈钢材质阀门。 被抽工件(玻壳)离地高度小于 1 米。

测量控制系统 真空测量系统低真空采用复合真空计, 选用成都睿宝 ZDF5201 型,高

真规管采用 ZJ-12 型超高真空热阴极电离规, 确保真空度测量准确性。

电器控制系统

采用西门子 PLC 加 15 寸触摸屏进行控制。真空系统泵和阀门控制均集中在触摸屏进 行控制。采集电流、电压、温度、气压、水压等数据, 集中在屏上显示。并设有多个系统

保护控制点,保证系统安全可靠运行。

主要设备配置清单(略)

随机文件


设备使用维护说明书 1 套 交货时交付

电气控制原理图 1 套 交货时交付

主要配套件说明书 1 套 交货时交付

甲方安装现场条件

1、电源:~10KVA、380V、三相、 50Hz;

2、压缩空气源: 0.4~0.8MPa;

3、冷却循环水:进水温度≤32℃、进水压力: 0.018~0.024MPa。

第四条 质量保证

按照 ISO9001 质量体系认证要求,针对客户定制非标设备全制程导入质量控制计划,

从设计输入开始到设备制造全过程采用项目式管理。研制过程中使用有资质的品牌材料、 仪器仪表、元器件及重要部件和计量器等配件, 并提供合格证明书、检验合格证及计量检定书。

成品出货质量控制:

1、依据成品出货检验项目逐一对成品检验, 如(外观、尺寸),整机执行相关性能检测标准,并将检验结果记录与报告,检验完成后作好成品标识。

2、提供详细的出货报告书、合格证、装箱清单、使用说明书及售后服务卡,建立详细的检验数据。

第五条 验收标准、方法

按本合同规定的配置 外观及第二条之技术指标 达到即验收合格。

第六条 售后服务

1、安装质量:

1)合同签订后 1 个月内,我方向使用方提供设备所需外围动力条件书面文件,并派人到现场配合进行设备就位、安装和外围动力条件施工验核。

2)设备到使用方后, 由我方负责安装、调试,并按合同要求使设备达到规定的技术指标和功能要求。

2、技术服务:

我方派人安装、调试合格后, 配合使用方的技术人员进行工艺试验和调整设备工作状 态,遇到问题及时处理。在一年包修期内设备出现问题,我方会及时赶到现场, 处理各种问题保证设备达到正常使用状态。同时为用户提供终身维修服务 质保期外同样提供及时响应式服务,我方会对设备易损件提前备库,上门维修收取部件成本费用即可。



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